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第578章烧钱中关村科技大楼，五楼顶层。
这里不对外开放，作为由陈春仙主持的、华夏硅谷公司的自主研发项目——光刻机的设计研发基地。
活了两辈子，时至今日，在此地，李建昆终于在现实中接触到光刻机。
对于光刻机的了解，不再停留在键盘侠的层次。
位于廊道尽头的一间实验室，有一扇硕大的对开式铁皮门，实验室里没有任何窗户，铁皮门关起来的话，处于全封闭状态。
在房间右侧靠墙的位置，静静“躺”
着一台机械、电子和光学等，多种科学凝聚而成的智慧结晶。
它的体积比李建昆想象中要小一些，精密程度也不如记忆中的某些图片上复杂，大概率是由于功能还不够强大的缘故。
这是一台由清华9003所自主研发的，第二代接近式光刻机。
整体像只柜子，矩形规格，大小等于两只对开门的衣柜拼凑在一起。
李建昆绕着圈圈，饶有兴致打量时，陈春仙像是给他做介绍，又像是在做某种铺垫，朗声道：“二代光刻机和一代，最大的区别在于，一代使用的是436n的g-le光源，二代使用则是365n的i-le光源。”
他居然以为李建昆能听懂……可见早前凭借键盘侠技术，李建昆在他心中竖立起何等专业的形象。
“不过一代和二代本质上其实差不多，都属于接触接近式光刻机，各自缺点明显，一代光刻机由于掩膜和光刻胶直接接触，易受污染；二代改良过后，却又出现新的问题，受气垫影响，成像精度还是不如人意。”
李建昆装模作样问：“所以呢？”
“要颠覆。”
陈春仙指了指清华圆的方向，“我跟那边详细讨论过，也通过国外行业能搜集到的皮毛资料，做过深入研究。
下一代光刻机，需要摒弃掉‘接触接近’的方式，技术出路一定在光学投影这一块。”
对喽！
李建昆眼神大亮，作为资深键盘侠，你跟他说具体怎么造一台光刻机，其中涉及哪些细微技术，他是真不懂。
但大的技术特点，他还是有所了解的。
第三代光刻机的称谓，正是叫作“扫描投影式光刻机”
。
“有研发思路吗？”
没有我给你提供点……李建昆心想。
打算先听听老陈怎么说。
陈春仙进入科研状态，像是在与一个同层次的科学家，进行深刻探讨，很认真地说道：“抛弃接触接近的方式，那么只能采取隔空曝光的形式，首先要利用光学透镜聚集衍生光，提高成像质量，其次使用扫描技术实现曝光。”
好家伙！
思路完全正确！
怕不是从9003所偷师的吧？否则仅仅研究一年，能有这么精准的思路？倒真应了那句老话，前人栽树后人乘凉，就是舒坦。
李建昆竖起一根食指，“还有一点，光刻机的衍生迭代，其最终的目的，是为获得更精细的制造工艺，你上面的所说的，即使全部实现，只能提升良品率。
在光源上还需要有所改变，我建议使用激光。”
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